✅乐鱼APP下载|客户端✅㊣亚洲最值得信赖的体育综合平台✅乐鱼APP下载|客户端✅主营:体育,彩票,AG真人,棋牌,电子,电竞赛事等千百款游戏,注册就送体验金✅乐鱼APP下载|客户端✅欢迎各界玩家加入体验!

  • <tbody id="bpebd"></tbody>

  • <dd id="bpebd"></dd>

    <tbody id="bpebd"></tbody>
    <rp id="bpebd"></rp>
     
       客户留言 

    欢迎您访问广东中德科技制泵有限公司官方网站!


     广东中德科技制泵有限公司  

    全国服务热线

    400-186-7080

      Guangdong Zhongde Pump Maufature Co.,Ltd
    低温泵在超高真空炉中的应用实例
    来源: | 作者:pumpzd | 发布时间: 2019-09-09 | 1489 次浏览 | 分享到:

    低温泵的简介:

        十多年前开始在
    真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空,效果满意。这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中。将低温泵并入真空系统中,达到清洁的超高真空环境。本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用; 重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节。对同类真空炉的研发和低温泵的应用都有参考价值。通过严格把关各研发环节,按照超高真空规范进行清洗,除气和烘烤,最后真空炉的极限压力达到了2 × 10-7Pa,将常规的真空炉极限压力延伸了近一个数量级。近年来无油真空泵在半导体行业为代表的领域被引进并广泛应用。从而低温泵+ 干泵为代表的无油超高真空获得系统在半导体电子技术、光学镀膜系统和航空航天领域得到了广泛推广。

      通过低温介质将抽气面温度降低到20 K 以下,抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体,从而抽出大量的气体。这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵,或冷凝泵。是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、吸附或是冷凝+ 吸附,将被抽空间的压力降低,而获得真空或维持真空状态的装置。

      作为完整的抽气系统,低温泵由两部分组成,主体为真空泵体,第二部分为压缩机。现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵,其核心是低温制冷机。工作基本流程为:氦气首先被压缩到高温高压状态;再通过热交换器被冷却为常温氦气;经纯化后的高纯氦气最后经汽缸完成绝热膨胀,变成低温氦气。如此不断循环,氦气被不断降温,成为制冷介质—低温氦气。

      选择低温泵的优势有:

     ?、俳嗑?,纯无油,抽气范围宽,可快速获得理想的超高真空环境;

     ?、谟肟诰断嗤钠渌?/span>真空泵相比,低温泵有更大的抽速,尤其抽出水蒸汽的能力;

     ?、鄱员怀槠逦扪≡?,杂质颗粒而不影响系统工作;

     ?、芸梢匀我饨嵌劝沧?,没有运动部件,不需要前级泵,运行和维护成本低;

     ?、荼┞洞笃韵低秤跋煨?,压缩机断水后可以自?;?,所以可以实现无人值守。

    真空系统的设计

      真空炉选用低温泵系统,最大的问题就是解决热负载。真空炉中的热负载主要来自于三方面:

     ?、倮醋月宀嗟娜确?;

     ?、谡持土髯刺?,气体分子携带走热量;

     ?、劾醋员每诠艿赖娜却己头淙攘?。

      低温泵工作在分子流状态下,热源②可忽略。热源③可以通过增加水冷结构消除。设计时主要考虑来自炉体的热负载对低温泵的影响。真空炉内选择多层金属反射屏。真空炉最高加热温度为1300℃,共设计6 层反射屏,内3 层选钼屏,其余各层选不锈钢反射屏。理论上加热器通过辐射到达容器壁的温度约200℃,温度随着时间会慢慢升高。多数情形,低温泵可装个90°弯头,以避免与真空室直通,这就进一步减少了传给泵的热负载,这也是减少热辐射最简单有效的方法。在分子流状态下,弯头对流导的影响可忽略,对超高真空系统而言比挡板更有效。为了进一步减少泵口管道热传导热和辐射对低温泵的影响,在弯头管道上设计了水冷结构。

       以上就是低温泵在超高真空炉中的应用实例,有什么疑问请联系广东中德科技制泵有限公司,欢迎您的来电咨询:0769-83230019。

    推荐阅读

                     Recommend


    乐鱼APP下载|客户端

  • <tbody id="bpebd"></tbody>

  • <dd id="bpebd"></dd>

    <tbody id="bpebd"></tbody>
    <rp id="bpebd"></rp>